Đức Quốc xã đã sử dụng rộng rãi các loại phòng hơi ngạt khác nhau để giết người hàng loạt.

Bắt đầu từ năm 1939, các phòng hơi ngạt đã được sử dụng như một phần của chương trình trợ tử của Đức Quốc xã nhằm loại bỏ những người khuyết tật về thể chất và trí tuệ. Các thí nghiệm trong việc kiểm tra bệnh nhân được tiến hành vào tháng 10 năm 1939 tại Posen bị chiếm đóng ở Ba Lan. Hàng trăm tù nhân đã bị giết vì ngộ độc khí carbon monoxit trong một phòng hơi ngạt thử nghiệm.[4] Năm 1940, các phòng hơi ngạt sử dụng carbon monoxide tinh khiết đóng chai đã được thành lập tại sáu trung tâm trợ tử ở Đức.[5] Ngoài những người khuyết tật, những trung tâm này cũng được sử dụng để giết các tù nhân được chuyển từ các trại tập trung ở Đức, Áo và Ba Lan. Việc giết các tù nhân trại tập trung tiếp tục sau khi chương trình trợ tử được chính thức đóng cửa vào năm 1941.[6]

Trong cuộc xâm lược của Nga, các vụ hành quyết hàng loạt bằng khí thải đã được Einsatzgruppen thực hiện bằng cách sử dụng các xe hơi ngạt - xe tải được sửa đổi để chuyển khí thải động cơ vào phòng hơi ngạt bịt kín.[5]

Bắt đầu từ năm 1941, các phòng hơi ngạt đã được sử dụng tại các trại hủy diệt ở Ba Lan để giết người Do Thái, Roma và các nạn nhân khác của Holocaust. Xe chở xăng đã được sử dụng tại trại hủy diệt Chełmno. Các trại hủy diệt của Chiến dịch Reinhard tại Bełżec, Sobibór và Treblinka đã sử dụng khói thải từ các động cơ diesel.[5] Để tìm kiếm các phương pháp giết người hiệu quả hơn, Đức quốc xã đã thử nghiệm sử dụng chất khử trùng Zyklon B dựa trên hydro cyanide tại trại tập trung Auschwitz. Phương pháp này đã được áp dụng cho các vụ giết người hàng loạt tại các trại ở Auschwitz và Majdanek. Có tới 6000 nạn nhân bị giết bằng Zyklon-B mỗi ngày tại Auschwitz.[5]

Hầu hết các phòng hơi ngạt tại các trại hủy diệt đã bị dỡ bỏ hoặc phá hủy trong những tháng cuối của Thế chiến II khi quân đội Liên Xô tiếp cận, ngoại trừ những phòng hơi ngạt ở Dachau, Sachsenhausen và Majdanek. Một phòng hơi ngạt bị phá hủy tại Auschwitz đã được xây dựng lại sau chiến tranh để xây đài tưởng niệm.